
一、核心功能与工作原理
1.测量对象
表面轮廓(如凹凸、弧度、台阶高度、角度等)。
微观粗糙度(部分设备兼具粗糙度仪功能)。
关键尺寸(如沟槽深度、孔径、螺纹参数等)。
2.工作原理
接触式:通过金刚石探针接触表面,随轮廓移动产生位移信号,转化为电信号并生成轮廓曲线(精度 高,但可能不适用于软材料)。
非接触式:采用激光、白光干涉、光学影像等技术,通过反射或成像分析表面形貌(适合脆弱或复杂 表面)。
二、主要技术特点
1.高精度
分辨率可达纳米级(如0.1μm),重复性精度高。
2.高效测量
自动化扫描,支持批量检测,减少人工误差。
3.多功能分析
内置软件可计算轮廓参数(Ra、Rz、Rq等),生成3D形貌图,导出CAD数据。
4.适应性强
可测材料包括金属、塑料、陶瓷、玻璃等,部分设备支持大尺寸工件。
三、典型应用场景
1.机械制造
检测齿轮齿形、轴承滚道、导轨直线度等。
2.汽车行业
发动机缸体/曲轴轮廓、密封件配合面精度评估。
3.电子半导体
晶圆表面平坦度、PCB焊盘高度测量。
4.航空航天
涡轮叶片型线、蒙皮曲面轮廓分析。
5.模具加工
模具型腔尺寸验证与磨损检测。